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伴隨著上述無(wú)時(shí)無(wú)刻不在屏讀的奇幻未來(lái)的是高速發(fā)展的顯示面板產(chǎn)業(yè)。面板的生產(chǎn)制造過(guò)程非常繁復(fù)，從一塊玻璃基板到出廠成品至少需要 300 道流程工藝，全程需在無(wú)塵的環(huán)境、精密的技術(shù)工藝下進(jìn)行。所以，高度可靠的真空供應(yīng)在面板生產(chǎn)過(guò)程中尤為重要。平板顯示器生產(chǎn)商現(xiàn)采用干式螺桿真空泵技術(shù)為其高負(fù)荷的L/L，CVD，PVD，刻蝕，溶劑蒸發(fā)等工藝流程供應(yīng)真空。本篇文章打算介紹下螺桿真空泵在平板顯示器中的應(yīng)用。

平板顯示器（FPD）制造制程需要能夠支持巨大加工室，并在最大可靠性的情況下輸送高氣體流速的真空和減排設(shè)備。需要使用普諾克真空設(shè)備來(lái)泵送有毒、自燃和腐蝕性氣體，并處理制造制程艙中形成的大量固態(tài)制程副產(chǎn)物。

在平板顯示器中，為什么會(huì)選擇采用普諾克螺桿真空泵？

選擇使用干式螺桿真空泵的原因，其實(shí)跟它的產(chǎn)品特點(diǎn)有關(guān)系，它具備以下三點(diǎn)優(yōu)點(diǎn)：

1、高度可靠性

Pronotek干式螺桿真空泵尤其高效，得益于其久經(jīng)考驗(yàn)的雙螺桿設(shè)計(jì)和智能溫度管理，該系列真空泵即使在最惡劣的應(yīng)用環(huán)境中也具有高度可靠性及較長(zhǎng)的使用壽命。

2、配備節(jié)能模式功能，可大量節(jié)省能耗

Pronotek干式螺桿真空泵配備了高能效電機(jī)和世界先進(jìn)的節(jié)能模式功能，控制系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)根據(jù)需求調(diào)整為節(jié)能模式，而當(dāng)需要的時(shí)候恢復(fù)到最大抽速模式，從而節(jié)省大量能耗。

3、維護(hù)及運(yùn)行成本最小化

它的一小部分部件包括轉(zhuǎn)子是一件式制成，得益于模塊化設(shè)計(jì)以及獨(dú)立的羅茨泵和螺桿泵框架，輕輕松松即可進(jìn)行安裝和維護(hù)，大幅降低了大修成本。由于該真空泵采用最優(yōu)化的空間設(shè)計(jì)，并具有節(jié)能潛力，因此運(yùn)行成本很低。

由多臺(tái)干式螺桿泵與羅茨泵組合而成的真空系統(tǒng)是平板顯示應(yīng)用的最佳解決方案，例如：用于進(jìn)出片室的快速抽空、過(guò)渡室和薄膜沉積室的抽空。在同類泵中，它們提供最快的抽空時(shí)間和最高的抽速。通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)計(jì)，普諾克真空其使所提供系統(tǒng)具有極高的用戶友好性。用戶還可得益于諸如電氣連接、吹掃氣體和冷卻水等的標(biāo)準(zhǔn)化接口、方便的設(shè)備維護(hù)及優(yōu)化的備泵管理。

以上內(nèi)容就是螺桿真空泵在平板顯示器中的應(yīng)用，如果想要了解更多，可以聯(lián)系我們公司的。東莞市普諾克真空科技有限公司可根據(jù)平板顯示器生產(chǎn)中CVD、PVD、刻蝕、PR 涂層、成盒、OLED 蒸鍍，封裝、離子注入等不同工藝需求，為客戶量身定制專業(yè)的真空解決方案。